Fluid flow and heat transfer during liquid encapsulated Czochralski crystal growth of III-V compound semiconductors

Fluid flow and heat transfer during liquid encapsulated Czochralski crystal growth of III-V compound semiconductors

Autori: A. Harkati, M. Drir, D. Ouadjaout, R. Younsi
Presentato al: 3rd International Meeting of the Hellenic Society of Rheology
Anno: 2001
Volume: Unico - Issue: Unico
Casa Editrice:
Lingua: English

Abstract
Liquid Encapsulated Czochralski (LEC) is frequently used to grow semiconductors compound single crystals. It is another configuration of Czochralski technique.

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